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Suche nach: Schlagwort = Siliciumsensor und Sammlung = ULB Düsseldorf

Entwicklung eines Prozesses zur monolithischen Integration piezoresistiver Beschleunigungssensoren in einem kommerziellen 2-mym-CMOS-Prozeß

Riethmüller, Werner

Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1995