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Titelaufnahme

Titel
Entwicklung eines Prozesses zur monolithischen Integration piezoresistiver Beschleunigungssensoren in einem kommerziellen 2-mym-CMOS-Prozeß / Werner Riethmüller
VerfasserRiethmüller, Werner In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Werner Riethmüller
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1995
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangIX, 111 S. : Ill., graph. Darst.
HochschulschriftZugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss.
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 203
SchlagwörterCMOS In Wikipedia suchen nach CMOS / Integration <Mikroelektronik> In Wikipedia suchen nach Integration Mikroelektronik / Siliciumsensor In Wikipedia suchen nach Siliciumsensor / Beschleunigungssensor In Wikipedia suchen nach Beschleunigungssensor / Intelligenter Sensor In Wikipedia suchen nach Intelligenter Sensor
ISBN3-18-320309-X
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