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Suche nach: Autor / Beteiligte = Roth, Roman und Sammlung = ULB Düsseldorf

Plasmadiagnostische und oberflächenanalytische Untersuchungen zum Mechanismus der Abscheidung reaktiv gesputterter TiN x-Schichten
Roth, Roman
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1996