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Titelaufnahme

Titel
Plasmadiagnostische und oberflächenanalytische Untersuchungen zum Mechanismus der Abscheidung reaktiv gesputterter TiN x-Schichten / Roman Roth
VerfasserRoth, Roman In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Roman Roth
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1996
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangIX, 103 S. : graph. Darst.
HochschulschriftZugl.: Stuttgart, Univ., Diss.
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 5, Grund- und Werkstoffe ; 423
SchlagwörterTitannitrid In Wikipedia suchen nach Titannitrid / Magnetronsputtern In Wikipedia suchen nach Magnetronsputtern / Plasmadiagnostik In Wikipedia suchen nach Plasmadiagnostik / Titannitrid In Wikipedia suchen nach Titannitrid / Magnetronsputtern In Wikipedia suchen nach Magnetronsputtern / Dünne Schicht In Wikipedia suchen nach Dünne Schicht / Oberflächenanalyse In Wikipedia suchen nach Oberflächenanalyse
ISBN3-18-342305-7
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