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Schlagwort = Röntgenlithografie und Sammlung = ULB Düsseldorf
Röntgentiefenlithographische Mikrostrukturfertigung
Genauigkeit der Abbildung und Strukturierung durch Schrägbelichtung
Feiertag, Gregor
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1996