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Schlagwort = Magnetronsputtern und Sammlung = ULB Düsseldorf
Entwicklung eines allgemeinen dreidimensionalen physikalischen Modells zur Simulation von Abscheideprofilen in Kathodenzerstäubungsanlagen
Stache, Joachim
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1996
Plasmadiagnostische und oberflächenanalytische Untersuchungen zum Mechanismus der Abscheidung reaktiv gesputterter TiN x-Schichten
Roth, Roman
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1996
Zum Ermüdungsverhalten von Stählen mit PVD-Titannitridschichten
Kurth, Bernhard
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1996