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Schlagwort = Dickschichttechnik und Sammlung = ULB Düsseldorf
Bau linearisierter kapazitiver Drucksensoren mit Auswerteschaltungen in Schalter-Kondensator-Technik
Benzel, Hubert
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1995