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Autor / Beteiligte = Zimdahl, Soeren und Sammlung = ULB Düsseldorf
Messungen und Simulationen zur kinetisch kontrollierten Erzeugung dünner Schichten nach dem CVD-Verfahren
Zimdahl, Soeren
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1994