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Autor / Beteiligte = Wunderlich, Silja und Sammlung = ULB Düsseldorf
Untersuchungen zum CO 2-Lasertempern von SiON-Dünnschichten für Anwendungen in der integrierten Optik
Wunderlich, Silja
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1997