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Autor / Beteiligte = Riethmüller, Werner und Sammlung = ULB Düsseldorf
Entwicklung eines Prozesses zur monolithischen Integration piezoresistiver Beschleunigungssensoren in einem kommerziellen 2-mym-CMOS-Prozeß
Riethmüller, Werner
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1995