Zur Seitenansicht

Titelaufnahme

    Titel
    Beiträge zum Saphir-Wafer-Direktbonden / Pascal Kopperschmidt
    VerfasserKopperschmidt, Pascal
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1998
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangVI, 74 S. : Ill., graph. Darst.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 5, Grund- und Werkstoffe ; 519
    SchlagwörterSaphir / Galliumarsenid / Wafer / Mehrschichtsystem / Bonden / Saphir / Wafer / Bonden
    ISBN3-18-351905-4
    Links
    Nachweis
     hbz-Verbundkatalog
    Archiv METS (OAI-PMH)
    Download
    Inhalt
    Inhalt des Werkes