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Titelaufnahme

    Titel
    PECVD-Prozesse mittels Hohlkathodenglimmentladung / Anke Hellmich
    VerfasserHellmich, Anke
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1997
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangVII, 111 S. : graph. Darst.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 3, Verfahrenstechnik ; 507
    SchlagwörterKohlenwasserstoffe / PECVD-Verfahren / Hohlkathodenentladung / Dünne Schicht / Amorpher Zustand / Tribologie
    ISBN3-18-350703-X
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     hbz-Verbundkatalog
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