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Titelaufnahme

    Titel
    Wachstum von OEIC-Schichtstrukturen im System InP/InGaAsP mittels metallorganischer Gasphasenepitaxie (MOVPE) / Andreas Eisenbach
    VerfasserEisenbach, Andreas
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1997
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangXIII, 158 S. : Ill., graph. Darst.
    HochschulschriftZugl.: Darmstadt, Techn. Hochsch., Diss., 1996
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 264
    SchlagwörterIndiumarsenid / Galliumarsenid / Galliumphosphid / Indiumphosphid / Schichtwachstum / MOCVD-Verfahren
    ISBN3-18-326409-9
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