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Titelaufnahme

Titel
Untersuchungen zum CO 2-Lasertempern von SiON-Dünnschichten für Anwendungen in der integrierten Optik / Silja Wunderlich
VerfasserWunderlich, Silja In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Silja Wunderlich
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1997
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangVII, 168 S. : graph. Darst.
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 5, Grund- und Werkstoffe ; 500
SchlagwörterSiliciumoxinitride In Wikipedia suchen nach Siliciumoxinitride / Dünne Schicht In Wikipedia suchen nach Dünne Schicht / Lasertempern In Wikipedia suchen nach Lasertempern / Kohlendioxidlaser In Wikipedia suchen nach Kohlendioxidlaser / Integriert-optisches Bauelement In Wikipedia suchen nach Integriert-optisches Bauelement
ISBN3-18-350005-1
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