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Titelaufnahme

    Titel
    Untersuchungen zum CO 2-Lasertempern von SiON-Dünnschichten für Anwendungen in der integrierten Optik / Silja Wunderlich
    VerfasserWunderlich, Silja
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1997
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangVII, 168 S. : graph. Darst.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 5, Grund- und Werkstoffe ; 500
    SchlagwörterSiliciumoxinitride / Dünne Schicht / Lasertempern / Kohlendioxidlaser / Integriert-optisches Bauelement
    ISBN3-18-350005-1
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