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Titelaufnahme

    Titel
    Randzonenanalyse bearbeiteter Silizium-Oberflächen / Carsten Menz
    VerfasserMenz, Carsten
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1997
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangX, 116 S. : Ill., graph. Darst.
    HochschulschriftZugl.: Hannover, Univ., Diss.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 2, Fertigungstechnik ; 431
    Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen, Universität Hannover - IFW-Produktionstechnik
    SchlagwörterWafer / Silicium / Oberflächenschaden / Randschicht
    ISBN3-18-343102-5
    Links
    Nachweis
     hbz-Verbundkatalog
    Archiv METS (OAI-PMH)
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    Inhalt
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