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Titelaufnahme

    Titel
    Stabstirn-Trennschleifen von einkristallinem Silizium / Matthias Hartmann
    VerfasserHartmann, Matthias
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1997
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangXIII, 144 S. : Ill., graph. Darst.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 2, Fertigungstechnik ; 422
    Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen, Universität Hannover - IFW-Produktionstechnik
    SchlagwörterSilicium / Einkristall / Wafer / Trennschleifen / Prozessüberwachung
    ISBN3-18-342202-6
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     hbz-Verbundkatalog
    Archiv METS (OAI-PMH)
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    Inhalt
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