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Titelaufnahme
Titel
Herstellung und Charakterisierung von Carbonitridschichten / Josef Hartmann
Verfasser
Hartmann, Josef
Erschienen
Düsseldorf : VDI-Verl.,
1997
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
VII, 101 S. : Ill., graph. Darst.
Hochschulschrift
Zugl.: Augsburg, Univ., Diss., 1997
Serie
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 5, Grund- und Werkstoffe ; 478
Schlagwörter
Carbonitride
/
Dünne Schicht
/
PECVD-Verfahren
/
Carbonitride
/
Dünne Schicht
/
Ionenimplantation
/
Carbonitride
/
Dünne Schicht
/
PVD-Verfahren
/
Hochstrombogen
ISBN
3-18-347805-6
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Herstellung und Charakterisierung von Carbonitridschichten [0,30 mb]
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