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Titelaufnahme

Titel
Plasmaabgeschiedene integriert optische Wellenleiter auf Silizium für die faseroptische Kommunikationstechnik / Martin Hoffmann
VerfasserHoffmann, Martin In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Martin Hoffmann
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1997
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangIX, 151 S. : Ill., graph. Darst.
HochschulschriftZugl.:Dortmund, Univ., Diss., 1996
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 10, Informatik, Kommunikationstechnik ; 469
SchlagwörterSiliciumoxinitride In Wikipedia suchen nach Siliciumoxinitride / Lichtwellenleiter In Wikipedia suchen nach Lichtwellenleiter / PECVD-Verfahren In Wikipedia suchen nach PECVD-Verfahren / CMOS In Wikipedia suchen nach CMOS / Integriert-optisches Bauelement In Wikipedia suchen nach Integriert-optisches Bauelement / Schaltungsentwurf In Wikipedia suchen nach Schaltungsentwurf
ISBN3-18-346910-3
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