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Titel
Röntgentiefenlithographische Mikrostrukturfertigung : Genauigkeit der Abbildung und Strukturierung durch Schrägbelichtung / Gregor Feiertag
Verfasser
Feiertag, Gregor
Erschienen
Düsseldorf : VDI-Verl.,
1996
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
VI, 107 S. : Ill., graph. Darst.
Hochschulschrift
Zugl.: Diss.
Serie
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 242
Schlagwörter
Röntgenlithografie
/
LIGA-Verfahren
ISBN
3-18-324209-5
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