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Titelaufnahme

Titel
Spektroskopische Ellipsometrie an III/V-Halbleiterstrukturen / Hartmut Iber
VerfasserIber, Hartmut In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Hartmut Iber
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1996
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangX, 120 S. : Ill., graph. Darst.
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik ; 601
SchlagwörterSilicium In Wikipedia suchen nach Silicium / Halbleitersubstrat In Wikipedia suchen nach Halbleitersubstrat / Indiumphosphid In Wikipedia suchen nach Indiumphosphid / Dünne Schicht In Wikipedia suchen nach Dünne Schicht / Gitterbaufehler In Wikipedia suchen nach Gitterbaufehler / Ellipsometrie In Wikipedia suchen nach Ellipsometrie / Silicium In Wikipedia suchen nach Silicium / Halbleitersubstrat In Wikipedia suchen nach Halbleitersubstrat / Galliumarsenid In Wikipedia suchen nach Galliumarsenid / Dünne Schicht In Wikipedia suchen nach Dünne Schicht / Gitterbaufehler In Wikipedia suchen nach Gitterbaufehler / Ellipsometrie In Wikipedia suchen nach Ellipsometrie
ISBN3-18-360108-7
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