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Titelaufnahme

    Titel
    Untersuchungen zu Filmbildung und Filmwachstum von Prepolymeren auf anorganischen Substraten / Thomas Gesang
    VerfasserGesang, Thomas
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1996
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangVI, 144 S. : Ill., graph. Darst.
    HochschulschriftZugl.: Dortmund, Univ., Diss., 1995
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 3, Verfahrenstechnik ; 438
    SchlagwörterSilicium / Kristallfläche / Wafer / Polymerfilm / Filmbildung / Rastersondenmikroskopie / Aluminium / Aufdampfschicht / Polymerfilm / Filmbildung / Rastersondenmikroskopie
    ISBN3-18-343803-8
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