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Titelaufnahme
Titel
Dreidimensionale Mikrostrukturierung von GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen / Jianmin Miao
Verfasser
Miao, Jianmin
Erschienen
Düsseldorf : VDI-Verl.,
1996
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
VI, 129 S. : Ill., graph. Darst.
Hochschulschrift
Zugl.: Darmstadt, Techn. Hochsch., Diss.
Serie
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 232
Schlagwörter
Galliumarsenid
/
Ionenimplantation
/
Mikrostruktur
/
Intelligenter Sensor
ISBN
3-18-323209-X
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Dreidimensionale Mikrostrukturierung von GaAs durch Ionenimplantation für Sensor [0,43 mb]
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