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Titelaufnahme

Titel
Dreidimensionale Mikrostrukturierung von GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen / Jianmin Miao
VerfasserMiao, Jianmin In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Jianmin Miao
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1996
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangVI, 129 S. : Ill., graph. Darst.
HochschulschriftZugl.: Darmstadt, Techn. Hochsch., Diss.
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 232
SchlagwörterGalliumarsenid In Wikipedia suchen nach Galliumarsenid / Ionenimplantation In Wikipedia suchen nach Ionenimplantation / Mikrostruktur In Wikipedia suchen nach Mikrostruktur / Intelligenter Sensor In Wikipedia suchen nach Intelligenter Sensor
ISBN3-18-323209-X
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