Zur Seitenansicht
 

Titelaufnahme

Titel
Dreidimensionale Mikrostrukturierung von GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen / Jianmin Miao
VerfasserMiao, Jianmin In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Jianmin Miao
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1996
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangVI, 129 S. : Ill., graph. Darst.
HochschulschriftZugl.: Darmstadt, Techn. Hochsch., Diss.
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 232
SchlagwörterGalliumarsenid In Wikipedia suchen nach Galliumarsenid / Ionenimplantation In Wikipedia suchen nach Ionenimplantation / Mikrostruktur In Wikipedia suchen nach Mikrostruktur / Intelligenter Sensor In Wikipedia suchen nach Intelligenter Sensor
ISBN3-18-323209-X
Links
Download Dreidimensionale Mikrostrukturierung von GaAs durch Ionenimplantation für Sensor [0,43 mb]
Nachweis
hbz-Verbundkatalog
Verfügbarkeit In meiner Bibliothek
Archiv METS (OAI-PMH)