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Titelaufnahme

    Titel
    Untersuchungen zum Einfluß netzwerkmodifizierender Elemente auf die freie Oberflächenenergie amorpher Kohlenwasserstoff-Schichten / Klaus Trojan
    VerfasserTrojan, Klaus
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1996
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangVI, 132 S. : graph. Darst.
    HochschulschriftZugl.: Diss.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 5, Grund- und Werkstoffe ; 431
    SchlagwörterKohlenwasserstoffe / Dünne Schicht / Amorpher Zustand / Oberflächenspannung / PECVD-Verfahren / Prozessführung <Technik> / Kohlenwasserstoffe / Dünne Schicht / Amorpher Zustand / Dotierung / Oberflächenspannung
    ISBN3-18-343105-X
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