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Titelaufnahme

Titel
Textur- und Spannungsanalyse an dünnen epitaktischen Diamantschichten auf Silizium / Stephan Geier
VerfasserGeier, Stephan In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Stephan Geier
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1996
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangVII, 139 S. : Ill., graph. Darst.
SerieFortschritt-Bericht VDI : Reihe 9, Elektronik ; 223
SchlagwörterSilicium In Wikipedia suchen nach Silicium / Substrat <Mikroelektronik> In Wikipedia suchen nach Substrat Mikroelektronik / Diamant In Wikipedia suchen nach Diamant / Dünne Schicht In Wikipedia suchen nach Dünne Schicht / CVD-Verfahren In Wikipedia suchen nach CVD-Verfahren / Texturanalyse In Wikipedia suchen nach Texturanalyse
ISBN3-18-322309-0
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