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Titelaufnahme

Titel
Entwicklung eines allgemeinen dreidimensionalen physikalischen Modells zur Simulation von Abscheideprofilen in Kathodenzerstäubungsanlagen / Joachim Stache
VerfasserStache, Joachim In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Joachim Stache
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1996
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangIX, 116 S. : graph. Darst.
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 21, Elektrotechnik ; 197
SchlagwörterAluminium In Wikipedia suchen nach Aluminium / Magnetronsputtern In Wikipedia suchen nach Magnetronsputtern / Diffusionsgleichung In Wikipedia suchen nach Diffusionsgleichung / Monte-Carlo-Simulation In Wikipedia suchen nach Monte-Carlo-Simulation / Wolfram In Wikipedia suchen nach Wolfram / Magnetronsputtern In Wikipedia suchen nach Magnetronsputtern / Diffusionsgleichung In Wikipedia suchen nach Diffusionsgleichung / Monte-Carlo-Simulation In Wikipedia suchen nach Monte-Carlo-Simulation
ISBN3-18-319721-9
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