Titelaufnahme |
Titel | Entwicklung eines allgemeinen dreidimensionalen physikalischen Modells zur Simulation von Abscheideprofilen in Kathodenzerstäubungsanlagen / Joachim Stache |
Verfasser | Stache, Joachim |
Erschienen | Düsseldorf : VDI-Verl., 1996 |
Ausgabe | Als Ms. gedr. |
Umfang | IX, 116 S. : graph. Darst. |
Serie | Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 21, Elektrotechnik ; 197 |
Schlagwörter | Aluminium / Magnetronsputtern / Diffusionsgleichung / Monte-Carlo-Simulation / Wolfram / Magnetronsputtern / Diffusionsgleichung / Monte-Carlo-Simulation |
ISBN | 3-18-319721-9 |