Zur Seitenansicht
 

Titelaufnahme

Titel
Tandem-Photolithographie-Verfahren / Hermann Sachse
VerfasserSachse, Hermann In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Hermann Sachse
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1995
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangVI, 139 S. : Ill., graph. Darst.
Anmerkung
Zsfassung in engl. u. dt. Sprache
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik ; 214
SchlagwörterFotolithografie <Halbleitertechnologie> In Wikipedia suchen nach Fotolithografie Halbleitertechnologie / Photoresist In Wikipedia suchen nach Photoresist / Mehrstufenprozess In Wikipedia suchen nach Mehrstufenprozess
ISBN3-18-321409-1
Links
Download Tandem-Photolithographie-Verfahren [0,27 mb]
Nachweis
hbz-Verbundkatalog
Verfügbarkeit In meiner Bibliothek
Archiv METS (OAI-PMH)