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Titelaufnahme

Titel
LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik : Bestimmung der elastischen Eigenschaften / Dieter Maier-Schneider
VerfasserMaier-Schneider, Dieter In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Dieter Maier-Schneider
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1995
Ausgabe
Als Ms. gedr.
UmfangXII, 116 S. : Ill., graph. Darst.
HochschulschriftZugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss.
SerieFortschrittberichte VDI : Reihe 18, Mechanik, Bruchmechanik ; 183
SchlagwörterLPCVD-Verfahren In Wikipedia suchen nach LPCVD-Verfahren / Silicium In Wikipedia suchen nach Silicium / Polykristall In Wikipedia suchen nach Polykristall / Elastizitätsmodul In Wikipedia suchen nach Elastizitätsmodul / LPCVD-Verfahren In Wikipedia suchen nach LPCVD-Verfahren / Silicium In Wikipedia suchen nach Silicium / Polykristall In Wikipedia suchen nach Polykristall / Eigenspannung In Wikipedia suchen nach Eigenspannung
ISBN3-18-318318-8
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