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Titelaufnahme
Titel
Verfahren des automatisierten Mikroabtrags mit Excimerlasern / Jens Mommsen
Verfasser
Mommsen, Jens
Erschienen
Düsseldorf : VDI-Verl.,
1995
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
IX, 109 S. : Ill., graph. Darst.
Serie
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 2, Fertigungstechnik ; 353
Serie
Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen Universität Hannover
Schlagwörter
Laserablation
/
Mikrostruktur
/
Automation
/
Excimerlaser
ISBN
3-18-335302-4
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Verfahren des automatisierten Mikroabtrags mit Excimerlasern [0,42 mb]
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