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Titelaufnahme
Titel
Abscheidung amorpher Kohlenstoffschichten mit dem Arc-Ion-Plating-Verfahren / Peter Jochen Brand
Verfasser
Brand, Peter Jochen
Erschienen
Düsseldorf : VDI-Verl.,
1995
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
VII, 89 S. : Ill., graph. Darst.
Hochschulschrift
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1994
Serie
Fortschritt-Berichte VDI ; 390
Schlagwörter
Kohlenstoff
/
Dünne Schicht
/
Amorpher Zustand
/
Ionenplattieren
ISBN
3-18-339005-1
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Abscheidung amorpher Kohlenstoffschichten mit dem Arc-Ion-Plating-Verfahren [0,23 mb]
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