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Titel
Laserstreuung und Entladungsdiagnostik am Beschichtungsplasma eines anodischen Vakuumbogens
/ Günther Benstetter
Verfasser
Benstetter, Günther
Erschienen
Düsseldorf
:
VDI-Verl.
,
1995
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
VI, 127 S. : zahlr. graph. Darst.
Serie
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 2, Fertigungstechnik ; 336
Schlagwörter
Vakuumlichtbogen
/
Plasmadiagnostik
ISBN
3-18-333602-2
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Laserstreuung und Entladungsdiagnostik am Beschichtungsplasma eines anodischen Vakuumbogens
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