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Titelaufnahme

    Titel
    Messungen und Simulationen zur kinetisch kontrollierten Erzeugung dünner Schichten nach dem CVD-Verfahren / Soeren Zimdahl
    VerfasserZimdahl, Soeren
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1994
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangIX, 88 S. : graph. Darst.
    HochschulschriftZugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1994
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 5, Grund- und Werkstoffe ; 368
    SchlagwörterSiliciumcarbid / Faserverbundwerkstoff / Kohlenstofffaser / Beschichten / Graphit / CVD-Verfahren / Siliciumcarbid / CVD-Verfahren / Mathematisches Modell
    ISBN3-18-336805-6
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