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Titelaufnahme
Titel
Zeitaufgelöste STM-Untersuchungen zu Adsorption und Wachstum auf Silicium / Lutz Andersohn
Verfasser
Andersohn, Lutz
Erschienen
Düsseldorf : VDI-Verl.,
1994
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang
X, 168 S. : Ill., graph. Darst.
Hochschulschrift
Zugl.: Diss.
Serie
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9 ; 188
Schlagwörter
Silicium
/
Adsorption
/
Wasser
/
Rastertunnelmikroskopie
/
Silicium
/
CVD-Verfahren
/
Rastertunnelmikroskopie
ISBN
3-18-318809-0
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Zeitaufgelöste STM-Untersuchungen zu Adsorption und Wachstum auf Silicium [0,37 mb]
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