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Titelaufnahme

Titel
Der Einfluß thermischer Spannungen auf die Defektstruktur in heteroepitaktischen Halbleiterfilmen / Bernd Roos
VerfasserRoos, Bernd In der Gemeinsamen Normdatei der DNB nachschlagen In Wikipedia suchen nach Bernd Roos
ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1994
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Umfang127 S. : Ill., graph. Darst.
HochschulschriftZugl.: Stuttgart, Univ., Diss.
SerieFortschritt-Berichte VDI : Reihe 5 ; 358
SchlagwörterHalbleiterschicht In Wikipedia suchen nach Halbleiterschicht / Heteroepitaxie In Wikipedia suchen nach Heteroepitaxie / Silicium In Wikipedia suchen nach Silicium / Substrat <Mikroelektronik> In Wikipedia suchen nach Substrat Mikroelektronik / Grenzfläche In Wikipedia suchen nach Grenzfläche / Mechanische Spannung In Wikipedia suchen nach Mechanische Spannung
ISBN3-18-335805-0
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