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Titelaufnahme

    Titel
    Verfahren und Einrichtungen zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften mikromechanischer Werkstoffe / Junming Zhang
    VerfasserZhang, Junming
    ErschienenDüsseldorf : VDI-Verl., 1994
    Ausgabe
    Als Ms. gedr.
    UmfangXI, 172 S. : Ill., graph. Darst.
    HochschulschriftZugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss.
    Serie
    Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 5 ; 338
    SchlagwörterMikromechanik / Silicium / Schichtwerkstoff / Mechanische Eigenschaft / Mikromechanik / Silicium / Wafer / Bruchfestigkeit
    ISBN3-18-143805-7
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