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oai:ce.visuallibrary.net/ulbd:8152612017-08-16T15:00:12Zulbdcebook

vls/2603nrwcece.visuallibrary.netvdUntersuchungen zum CO 2-Lasertempern von SiON-Dünnschichten für Anwendungen in der integrierten OptikWunderlich, SiljaauttextbookDüsseldorfVDI-Verl.1997Als Ms. gedr.monographicgerVII, 168 S. : graph. Darst.Silja WunderlichSiliciumoxinitrideDünne SchichtLasertempernKohlendioxidlaserIntegriert-optisches Bauelement3-18-350005-1HT007753335Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 5, Grund- und Werkstoffe500HT0021093011011997 A 5908719980205701265601rak https://ce.visuallibrary.net//domainresource/static/graphics/connectors/viewerLogo.gif http://193.30.112.129:83/F/?func=find-c&ccl_term=ICS%3D701265601+X0001 https://ce.visuallibrary.net/id/815261 https://ce.visuallibrary.net/i3f/v20/815261/manifest https://ce.visuallibrary.net/proto_ftsearch/815261