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oai:ce.visuallibrary.net/ulbd:7290562016-11-19T16:00:24Zulbdcebook

vls/2603nrwcece.visuallibrary.netvdHerstellung und Charakterisierung von CarbonitridschichtenHartmann, JosefauttextbookDüsseldorfVDI-Verl.1997Als Ms. gedr.monographicgerVII, 101 S. : Ill., graph. Darst.Josef HartmannZugl.: Augsburg, Univ., Diss., 1997CarbonitrideDünne SchichtPECVD-VerfahrenCarbonitrideDünne SchichtIonenimplantationCarbonitrideDünne SchichtPVD-VerfahrenHochstrombogenAugsburg3-18-347805-6HT007544226Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 5, Grund- und Werkstoffe478HT0021093011011997 A 2786619970812701185701rak https://ce.visuallibrary.net//domainresource/static/graphics/connectors/viewerLogo.gif http://193.30.112.129:83/F/?func=find-c&ccl_term=ICS%3D701185701+X0001 https://ce.visuallibrary.net/id/729056 https://ce.visuallibrary.net/i3f/v20/729056/manifest https://ce.visuallibrary.net/proto_ftsearch/729056